半导体机械陶瓷手臂

半导体机械陶瓷手臂      氧化铝陶瓷具有耐高温、耐腐蚀、耐磨、绝缘等特点，可在高温、真空或腐蚀性气体等多种半导体生产设备中长期工作。 陶瓷手臂采用高纯度氧化铝粉末，经冷等静压、高温烧结和精密精加工加工而成，尺寸公差可达±0.0