精密陶瓷加工厂家
氧化锆、氧化铝、氮化铝生产加工
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| 产品名称 | 半导体机械陶瓷手臂 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可来图来样定制 |
| 粗糙度 | 0.1μm |
| 材料成分 | 氧化铝 |
| 我要定制 | 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观！ |
PRODUCT CATEGORIES
半导体机械陶瓷手臂
氧化铝陶瓷具有耐高温、耐腐蚀、耐磨、绝缘等特点，可在高温、真空或腐蚀性气体等多种半导体生产设备中长期工作。 陶瓷手臂采用高纯度氧化铝粉末，经冷等静压、高温烧结和精密精加工加工而成，尺寸公差可达±0.001 mm，表面光洁度Ra 0.1，耐温1600℃。 由于独特的陶瓷结合技术，带腔的陶瓷末端执行器可以在800℃的高温下工作。
半导体陶瓷手臂具有紧固公差的高精度尺寸，更容易获得完美的配合关系。
耐高温：可承受高达 1650°C 的温度氧化性和还原性气氛；耐磨性：氧化铝是一种极硬的技术陶瓷，具有极好的耐磨性；化学惰性，耐大部分强酸强碱，永不生锈；电绝缘性：绝缘击穿率提高至少到18KV；机械性能、硬度、抗压和抗弯强度都比不锈钢高得多；高温下耐化学腐蚀，即使是强酸或强碱；高温保护气氛或高真空，以消除污染或杂质；与其他技术陶瓷相比，在高级应用中的材料成本低。
